силицијум карбид керамички премаз графитни грејач

ВеТек Семицондуцтор Графитни грејач са керамичким премазом од силицијум карбидакомбинује одличну електричну и топлотну проводљивост графита са отпорношћу на високе температуре, отпорношћу на корозију и отпорношћу на хабање силицијум-карбонске керамичке превлаке, и дизајниран је за оштра окружења производње полупроводника. 

Графитни грејач са керамичким премазом од силицијум карбидасе углавном користи у опреми за вакуумско облагање (испаравање), а методе које се обично користе су ПЦД (плазма хемијско сушење) и ПВД ​​(физичко таложење паре). Овај производ је играо важну улогу у промовисању технолошког напретка и побољшању ефикасности производње у индустрији полупроводника.Искрено се радујемо даљој сарадњи са вама.

Материјал и структурне карактеристике графитног грејача са керамичким премазом од силицијум карбида су следеће:

Графитна подлога: Графит је познат по својој високој топлотној проводљивости и ниском коефицијенту топлотног ширења. Може брзо да реагује на промене температуре и одржава структурну стабилност на високим температурама.

Силиконски угљен-керамички премаз: СиЦ премаз је равномерно премазан на површини графита путем хемијског таложења паре или других напредних процеса. СиЦ има изузетно високу тврдоћу и отпорност на хемијску корозију, што може заштитити графитну подлогу од оксидације при високим температурама и корозивних окружења.

Посебан структурални дизајн производа силицијум карбидног керамичког премаза графитног грејача одређујенезаменљиве предности производа овог производа у процесу обраде полупроводника:

Ефикасно и равномерно грејање:

Топлотна проводљивост: Висока топлотна проводљивост графита омогућава грејачу да брзо достигне и одржи потребну температуру, а СиЦ премаз обезбеђује равномерну дистрибуцију топлоте. Ово је посебно важно за полупроводничке процесе који захтевају прецизну контролу температуре, као што су брза термичка обрада (РТП) и хемијско таложење паре (ЦВД).

Уједначеност температуре: Кроз равномерну дистрибуцију топлоте, грејач графита са керамичким премазом од силицијум карбида може ефикасно смањити топлотни стрес и температурни градијент, обезбеђујући конзистентност и стабилност квалитета полупроводничких плочица током процеса грејања.

Заштита од корозије:

Хемијска отпорност: Отпорност на хемијску корозију СиЦ премаза омогућава грејачу да ради стабилно и дуго времена у корозивним гасним и хемијским окружењима, избегавајући оштећење графитне подлоге. Ова карактеристика је посебно критична у процесима као што су хемијско таложење паре (ЦВД) и плазма побољшано хемијско таложење паре (ПЕЦВД).

Отпорност на оксидацију: На високим температурама, СиЦ премаз може спречити оксидацију графитне подлоге, продужити век трајања грејача и смањити учесталост и трошкове одржавања опреме.

Смањите контаминацију честицама:

Површинска стабилност: СиЦ премаз не само да је отпоран на хабање, већ такође спречава честице да падају са површине материјала услед термичког циклуса или хемијских реакција, чиме се смањује ризик од контаминације честицама до које може доћи током производње полупроводника и обезбеђује процесно окружење високе чистоће.

Побољшајте поузданост и ефикасност процеса:

Дуготрајни дизајн: Због комбинације механичке чврстоће графита и отпорности на хабање СиЦ премаза, грејач графита са керамичким премазом од силицијум карбида може дуго да одржава рад високе ефикасности у тешким процесним условима, значајно побољшавајући укупну поузданост опреме.

Ефикасно коришћење енергије: Висока топлотна проводљивост графита и високотемпературна стабилност СиЦ превлаке омогућавају грејачу да смањи потрошњу енергије уз побољшање тачности контроле температуре, чиме се побољшава укупна ефикасност производње полупроводника.

Основна физичка својстваГрафитни грејач са керамичким премазом од силицијум карбида:

ВеТек СемицондуцторГрафитни грејач са керамичким премазом од силицијум карбидапродавнице:

Преглед ланца индустрије епитаксије полупроводничких чипова:

/други-процес