Керамички премаз од силицијум карбида

Ветек Семицондуцтор Керамички премаз од силицијум карбидаје заштитни премаз високих перформанси направљен од изузетно тврдог и отпорног на хабање материјала силицијум карбида (СиЦ), који пружа одличну отпорност на хемијску корозију и стабилност на високим температурама. Ова својства су пресудна у производњи полупроводника, тако да се керамички премаз од силицијум карбида широко користи на кључним компонентама опреме за производњу полупроводника.

Посебна улога коју игра Ветек Семицондуцтор Силицон Царбиде Церамиц Цоатинг у производњи полупроводника јекако следи:

Повећајте издржљивост опреме: Керамички премаз од силицијум карбида пружа одличну површинску заштиту опреме за производњу полупроводника са својом изузетно високом тврдоћом и отпорношћу на хабање. Нарочито у високотемпературним, високо корозивним процесним окружењима, као што су хемијско таложење паре (ЦВД) и нагризање плазмом, керамички премаз од силицијум карбида може ефикасно спречити оштећење површине опреме услед хемијске ерозије или физичког хабања, чиме се значајно продужава радни век уређаја. опреме и смањење времена застоја узрокованог честим заменама и одржавањем.

Побољшајте чистоћу процеса: У процесу производње полупроводника, свака ситна контаминација може изазвати дефекте производа. Хемијска инертност керамичког премаза од силицијум карбида омогућава му да остане стабилан у екстремним условима, спречи материјал да отпусти честице или нечистоће и обезбеди чистоћу животне средине током процеса. Ово је посебно важно за производне кораке који захтевају високу прецизност и високу чистоћу, као што су ПЕЦВД и јонска имплантација.

Оптимизујте управљање топлотом: У високотемпературној обради полупроводника, као што је брза термичка обрада (РТП) и процеси оксидације, висока топлотна проводљивост керамичког премаза од силицијум карбида омогућава равномерну дистрибуцију температуре унутар опреме. Ово помаже у смањењу топлотног напрезања и деформације материјала узрокованих температурним флуктуацијама, чиме се побољшава тачност и конзистентност производње производа.

Подржите сложено процесно окружење: У процесима који захтевају сложену контролу атмосфере, као што су процеси ИЦП јеткања и ПСС јеткања, стабилност и отпорност на оксидацију керамичког премаза од силицијум карбида осигуравају стабилне перформансе опреме у дуготрајном раду, смањујући ризик од деградације материјала или опреме. оштећења услед промена животне средине.

Ветек Семицондуцторфокусира се на производњу и снабдевање високих перформансиКерамички премаз од силицијум карбида, и посвећен је пружању напредне технологије и решења производа за индустрију полупроводника.Искрено се надамо да ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.

Основна физичка својстваКерамички премаз од силицијум карбида:

ВеТек Семицондуцтор Силицон Царбиде керамичке превлаке продавнице:

Преглед ланца индустрије епитаксије полупроводничких чипова: