грејач са керамичким премазом од силицијум карбида

ВеТек СемицондуцторГрејач са керамичким премазом од силицијум карбида је грејач дизајниран за високе температуре и оштра окружења. Он облаже слој силицијум-карбонске керамичке превлаке (СиЦ) на површини грејног елемента да би опреми дао одличну топлотну отпорност, отпорност на корозију и топлотну проводљивост. 

Грејач са керамичким премазом од силицијум карбидасе углавном користи у опреми за вакуумско облагање (испаравање). Најчешће коришћене методе су ПЦД (Плазма хемијско сушење) и ПВД ​​(физичко таложење паре), које се широко користе у производњи полупроводника и другим индустријским апликацијама високе потражње.

У комбинацији са дизајном премаза високих перформанси грејача керамичког премаза од силицијум карбида,може да обезбеди одлично решење за грејање за високотемпературне процесе.

Одлична топлотна проводљивост: СиЦ материјал има одличну топлотну проводљивост, осигуравајући да грејач може постићи уједначену дистрибуцију топлоте у радном подручју и смањити температурне градијенте.

Обезбедите равномерну дистрибуцију топлоте: Грејач са керамичким премазом од силицијум карбида користи високу топлотну проводљивост СиЦ материјала како би постигао уједначену дистрибуцију температуре у целој области грејања. Ово је кључно за обезбеђивање уједначеног топлотног третмана полупроводничких плочица у различитим процесима на високим температурама као што су брза термичка обрада (РТП), дифузија и оксидација, избегавајући дефекте производа узроковане локалним прегревањем или неуједначеном температуром.

Толеранција високе температуре: СиЦ премаз омогућава грејачу да издржи екстремно високе температуре, обично до 1600°Ц, погодне за различите процесе обраде на високим температурама.

Побољшајте отпорност на топлоту: Пошто премаз може да издржи екстремно високе температуре, добро се понаша у процесима који захтевају дуготрајан рад на високим температурама. На пример, у процесима хемијског таложења паре (ЦВД), грејач са керамичким премазом од силицијум карбида може обезбедити дуготрајан стабилан рад опреме на високим температурама и одржавати конзистентне перформансе грејања, чиме се побољшава поновљивост и поузданост процеса.

Отпорност на хемијску корозију: СиЦ премаз има изузетно високу отпорност на киселе, алкалне и корозивне гасове, и може остати стабилан дуго времена у окружењу сложене хемијске атмосфере, продужавајући век трајања опреме. 

Продужење животног века опреме: СиЦ премаз има одличну отпорност на оксидацију и отпорност на корозију и може ефикасно да се одупре хемијској ерозији и оксидацији на високим температурама. Ово је веома важно у процесу производње полупроводника, посебно у окружењу које рукује корозивним гасовима и хемикалијама. Заштитни ефекат премаза може значајно продужити век трајања грејача и смањити учесталост замене опреме и трошкова одржавања.

Основна физичка својства грејача са керамичким премазом од силицијум карбида:

ВеТек Семицондуцтор продавнице грејача са керамичким премазом од силицијум карбида:

Преглед ВеТек ланца индустрије епитаксије полупроводничких чипова: