Подршка за премазивање од тантал карбида

Главна функција ВеТек Семицондуцтор-аТантал карбид (ТаЦ) премазПодршка је да се побољшаотпорност на топлоту, отпорност на хабање и отпорност на корозијуподлоге премазивањем слоја Танталум Царбиде Цоатинг-а, како би се побољшала тачност и поузданост процеса и продужио век трајања компоненти. То је производ за премазивање високих перформанси који се користи у области обраде полупроводника.

ВеТек Семицондуцтор'с Танталум Царбиде Цоатинг Цоатинг Суппор има Мохс-ову тврдоћу од скоро 9~10, други само за дијамантом. Има изузетно јаку отпорност на хабање и може ефикасно да се одупре површинском хабању и удару током обраде, чиме се ефективно продужава радни век компоненти опреме. У комбинацији са високом тачком топљења од око 3880°Ц, често се користи за премазивање кључних компоненти полупроводничке опреме, као што су површински премази потпорних структура, опрема за термичку обраду, коморе или заптивке у полупроводничкој опреми како би се побољшала отпорност на хабање и високе температуре отпор.

Због изузетно високе тачке топљења тантал карбида од око 3880°Ц, у процесима обраде полупроводника као нпр.хемијско таложење паре (ЦВД)ифизичко таложење паре (ПВД), ТаЦ премаз са јаком отпорношћу на високе температуре и отпорношћу на хемијску корозију може ефикасно заштитити компоненте опреме и спречити корозију или оштећење подлоге у екстремним окружењима, пружајући ефикасну заштиту за окружења са високим температурама у производњи плочица. Ова карактеристика такође одређује да се ВеТек Семицондуцтор'с Танталум Царбиде Цоатинг Суппорт често користи у процесима јеткања и корозије.

Подршка за премазивање од тантал карбида такође има функцију смањења контаминације честицама. Током обраде вафла, површинско хабање обично производи контаминацију честицама, што утиче на квалитет производа плочице. Екстремне карактеристике производа ТаЦ Цоатинг-а од тврдоће близу 9-10 Мохс-а могу ефикасно смањити ово хабање, чиме се смањује стварање честица. У комбинацији са одличном топлотном проводљивошћу ТаЦ Цоатинг-а (око 21 В/м·К), може да одржи добру топлотну проводљивост у условима високе температуре, чиме се значајно побољшава принос и конзистентност производње плочица.

Главни производи ВеТек Семицондуцтор-а ТаЦ Цоатинг укључујуТаЦ гријач премаза, ЦВД ТаЦ Цоатинг Цруцибле, ТаЦ Цоатинг Ротатион СусцепториТаЦ Цоатинг Резервни део, итд. и подржавају прилагођене услуге производа. ВеТек Семицондуцтор је посвећен пружању одличних производа и техничких решења за индустрију полупроводника. Искрено се надамо да ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.

Тантал карбид (ТаЦ) премаз на микроскопском попречном пресеку:

Основна физичка својства ЦВД ТаЦ превлаке：