Кина Тантал-карбид премаз Мануфацтурер, Супплиер, Фацтори

ВеТек семицондуцтор је водећи произвођач тантал карбидних премаза за индустрију полупроводника. Наша главна понуда производа укључује делове премаза од ЦВД тантал карбида, делове синтерованог ТаЦ премаза за раст кристала СиЦ или процес епитаксије полупроводника. Прошао ИСО9001, ВеТек Семицондуцтор има добру контролу квалитета. ВеТек Семицондуцтор је посвећен да постане иноватор у индустрији премаза тантал карбида кроз текуће истраживање и развој итеративних технологија.

Главни производи суПрстен за дефективну превлаку од тантал карбида, диверзиони прстен обложен ТаЦ, полумесечни делови обложени ТаЦ, планетарни ротациони диск обложен тантал карбидом (Аиктрон Г10), лончић обложен ТаЦ; ТаЦ Цоатед Рингс; Порозни графит са премазом ТаЦ; тантал карбид премаз Грапхите Сусцептор; ТаЦ Цоатед Гуиде Ринг; ТаЦ плоча обложена тантал карбидом; ТаЦ Цоатед Вафер Сусцептор; ТаЦ Цоатинг Ринг; ТаЦ Цоатинг Грапхите Цовер; ТаЦ Цоатед Цхункитд., чистоћа је испод 5ппм, може задовољити захтеве купаца.

ТаЦ премаз графит се ствара премазивањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД). Предност је приказана на слици испод:

Excellent properties of TaC coating graphite

Превлака од тантал карбида (ТаЦ) је привукла пажњу због своје високе тачке топљења до 3880°Ц, одличне механичке чврстоће, тврдоће и отпорности на термичке ударе, што га чини атрактивном алтернативом за сложене процесе епитаксије полупроводника са вишим температурним захтевима, као што је Аиктрон МОЦВД систем и ЛПЕ СиЦ процес епитаксије. Такође има широку примену у ПВТ методи процеса раста кристала СиЦ.

Кључне карактеристике:

●Температурна стабилност

●Ултра висока чистоћа

●Отпорност на Х2, НХ3, СиХ4, Си

●Отпорност на топлоту

●Јака адхезија на графит

●Конформна покривеност премаза

● Величина до пречника 750 мм (једини произвођач у Кини достиже ову величину)

Апликације:

●Носач вафла

● Индуктивни грејни пријемник

● Отпорни грејни елемент

●Сателитски диск

●Глава за туширање

●Водећи прстен

●ЛЕД Епи пријемник

●Млазница за убризгавање

●Прстен за маскирање

● Топлотни штит

Тантал карбид (ТаЦ) премаз на микроскопском попречном пресеку:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Параметар ВеТек Семицондуцтор Танталум Царбиде Цоатинг:

Физичка својства ТАЦ премаза
Густина	14,3 (г/цм³)
Специфична емисивност	0.3
Коефицијент топлотног ширења	6.3 10^-6/К
Тврдоћа (ХК)	2000 ХК
Отпор	1×10^-5Охм*цм
Термичка стабилност	<2500℃
Промена величине графита	-10~-20ум
Дебљина премаза	≥20ум типична вредност (35ум ± 10ум)

ТаЦ премаз ЕДКС подаци：

EDX data of TaC coating

Подаци о кристалној структури ТАЦ-а:

Елемент	Атомски проценат
	Пт. 1	Пт. 2	Пт. 3	Просечно
Ц К	52.10	57.41	52.37	53.96
Тхе М	47.90	42.59	47.63	46.04

ТаЦ Цоатинг Цхуцк ТаЦ премаз планетарни диск ТаЦ обложена плоча ТаЦ премаз Ротациона плоча ТаЦ пријемник премаза ЦВД ТаЦ премаз Поклопац ЦВД ТаЦ прстен за премазивање ТаЦ плоча за премазивање

View as

<...4 5 6 7 8 >

Као професионални Тантал-карбид премаз произвођач и добављач у Кини, имамо сопствену фабрику. Без обзира да ли су вам потребне прилагођене услуге да бисте задовољили специфичне потребе вашег региона или желите да купите напредне и издржљиве Тантал-карбид премаз произведене у Кини, можете нам оставити поруку.