ВеТек семицондуцтор је водећи произвођач тантал карбидних премаза за индустрију полупроводника. Наша главна понуда производа укључује делове премаза од ЦВД тантал карбида, делове синтерованог ТаЦ премаза за раст кристала СиЦ или процес епитаксије полупроводника. Прошао ИСО9001, ВеТек Семицондуцтор има добру контролу квалитета. ВеТек Семицондуцтор је посвећен да постане иноватор у индустрији премаза тантал карбида кроз текуће истраживање и развој итеративних технологија.
Главни производи суПрстен за дефективну превлаку од тантал карбида, диверзиони прстен обложен ТаЦ, полумесечни делови обложени ТаЦ, планетарни ротациони диск обложен тантал карбидом (Аиктрон Г10), лончић обложен ТаЦ; ТаЦ Цоатед Рингс; Порозни графит са премазом ТаЦ; тантал карбид премаз Грапхите Сусцептор; ТаЦ Цоатед Гуиде Ринг; ТаЦ плоча обложена тантал карбидом; ТаЦ Цоатед Вафер Сусцептор; ТаЦ Цоатинг Ринг; ТаЦ Цоатинг Грапхите Цовер; ТаЦ Цоатед Цхункитд., чистоћа је испод 5ппм, може задовољити захтеве купаца.
ТаЦ премаз графит се ствара премазивањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД). Предност је приказана на слици испод:
Превлака од тантал карбида (ТаЦ) је привукла пажњу због своје високе тачке топљења до 3880°Ц, одличне механичке чврстоће, тврдоће и отпорности на термичке ударе, што га чини атрактивном алтернативом за сложене процесе епитаксије полупроводника са вишим температурним захтевима, као што је Аиктрон МОЦВД систем и ЛПЕ СиЦ процес епитаксије. Такође има широку примену у ПВТ методи процеса раста кристала СиЦ.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистоћа
●Отпорност на Х2, НХ3, СиХ4, Си
●Отпорност на топлоту
●Јака адхезија на графит
●Конформна покривеност премаза
● Величина до пречника 750 мм (једини произвођач у Кини достиже ову величину)
● Индуктивни грејни пријемник
● Отпорни грејни елемент
● Топлотни штит
Физичка својства ТАЦ премаза | |
Густина | 14,3 (г/цм³) |
Специфична емисивност | 0.3 |
Коефицијент топлотног ширења | 6.3 10-6/К |
Тврдоћа (ХК) | 2000 ХК |
Отпор | 1×10-5Охм*цм |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Промена величине графита | -10~-20ум |
Дебљина премаза | ≥20ум типична вредност (35ум ± 10ум) |
Елемент | Атомски проценат | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Просечно | |
Ц К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Тхе М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
ВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач ТаЦ Цоатинг Плате и других ТаЦ Цоатинг резервних делова у Кини. ТаЦ премаз се тренутно углавном користи у процесима као што су раст монокристала силицијум карбида (ПВТ метода), епитаксијални диск (укључујући епитаксију силицијум карбидом, епитаксију ЛЕД), итд. У комбинацији са добром дуготрајном стабилношћу ТаЦ Цоатинг Плате, ВеТек Семицондуцтор ТаЦ Цоатинг Плате је постао стандард за ТаЦ Цоатинг резервне делове. Радујемо се што ћете постати наш дугогодишњи партнер.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач ГаН на СиЦ епи сусцептору, ЦВД СиЦ премаза и ЦВД ТАЦ ЦОАТИНГ графитног пријемника у Кини. Међу њима, ГаН на СиЦ епи сусцептору игра виталну улогу у обради полупроводника. Кроз своју одличну топлотну проводљивост, способност обраде високе температуре и хемијску стабилност, обезбеђује високу ефикасност и квалитет материјала ГаН епитаксијалног процеса раста. Искрено се радујемо вашим даљим консултацијама.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор'с ЦВД ТаЦ Цоатинг носач је углавном дизајниран за епитаксијални процес производње полупроводника. Ултра-висока тачка топљења носача ЦВД ТаЦ премаза, одлична отпорност на корозију и изузетна термичка стабилност одређују неопходност овог производа у епитаксијалном процесу полупроводника. Искрено се надамо да ћемо изградити дугорочан пословни однос са вама.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор-ов ТаЦ Цоатинг Гуиде Ринг је креиран наношењем премаза од тантал карбида на графитне делове користећи веома напредну технику која се зове хемијско таложење паре (ЦВД). Ова метода је добро успостављена и нуди изузетна својства премаза. Коришћењем ТаЦ прстена за вођење премаза, животни век графитних компоненти може се значајно продужити, кретање графитних нечистоћа може бити потиснуто, а квалитет монокристала СиЦ и АИН може се поуздано одржати. Добродошли да нас распитате.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатед Грапхите Сусцептор користи метод хемијског таложења паре (ЦВД) за припрему превлаке од тантал карбида на површини графитних делова. Овај процес је најзрелији и има најбоља својства премаза. ТаЦ обложен графитни сусцептор може продужити век трајања графитних компоненти, инхибирати миграцију нечистоћа графита и осигурати квалитет епитаксије. ВеТек Семицондуцтор се радује вашем упиту.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор представља ТаЦ Цоатинг Сусцептор, Са својим изузетним ТаЦ премазом, овај пријемник нуди мноштво предности које га издвајају од конвенционалних решења. Беспрекорно се интегришући у постојеће системе, ТаЦ Цоатинг Сусцептор из ВеТек Семицондуцтор гарантује компатибилност и ефикасан рад. Његове поуздане перформансе и висококвалитетни ТаЦ премаз доследно дају изузетне резултате у процесима СиЦ епитаксије. Посвећени смо обезбеђивању квалитетних производа по конкурентним ценама и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упит