ВеТек семицондуцтор је водећи произвођач тантал карбидних премаза за индустрију полупроводника. Наша главна понуда производа укључује делове премаза од ЦВД тантал карбида, делове синтерованог ТаЦ премаза за раст кристала СиЦ или процес епитаксије полупроводника. Прошао ИСО9001, ВеТек Семицондуцтор има добру контролу квалитета. ВеТек Семицондуцтор је посвећен да постане иноватор у индустрији премаза тантал карбида кроз текуће истраживање и развој итеративних технологија.
Главни производи суПрстен за дефективну превлаку од тантал карбида, диверзиони прстен обложен ТаЦ, полумесечни делови обложени ТаЦ, планетарни ротациони диск обложен тантал карбидом (Аиктрон Г10), лончић обложен ТаЦ; ТаЦ Цоатед Рингс; Порозни графит са премазом ТаЦ; тантал карбид премаз Грапхите Сусцептор; Водећи прстен са премазом ТаЦ; ТаЦ плоча обложена тантал карбидом; ТаЦ Цоатед Вафер Сусцептор; ТаЦ Цоатинг Ринг; ТаЦ Цоатинг Грапхите Цовер; ТаЦ Цоатед Цхункитд., чистоћа је испод 5ппм, може задовољити захтеве купаца.
ТаЦ премаз графит се ствара премазивањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД). Предност је приказана на слици испод:
Превлака од тантал карбида (ТаЦ) је привукла пажњу због своје високе тачке топљења до 3880°Ц, одличне механичке чврстоће, тврдоће и отпорности на термичке ударе, што га чини атрактивном алтернативом за сложене процесе епитаксије полупроводника са вишим температурним захтевима, као што је Аиктрон МОЦВД систем и ЛПЕ СиЦ процес епитаксије. Такође има широку примену у ПВТ методи процеса раста кристала СиЦ.
Температурна стабилност
Ултра висока чистоћа
Отпорност на Х2, НХ3, СиХ4, Си
Отпорност на топлоту
Јака адхезија на графит
Конформна покривеност премаза
Величина до пречника 750 мм (једини произвођач у Кини достиже ову величину)
Носач вафла
Индуктивни грејни пријемник
Отпорни грејни елемент
Сателитски диск
Сховерхеад
Водећи прстен
ЛЕД Епи пријемник
Млазница за убризгавање
Прстен за маскирање
Топлотни штит
Физичка својства ТаЦ превлаке | |
Густина | 14,3 (г/цм³) |
Специфична емисивност | 0.3 |
Коефицијент топлотног ширења | 6.3 10-6/К |
Тврдоћа (ХК) | 2000 ХК |
Отпор | 1×10-5Охм*цм |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Промена величине графита | -10~-20ум |
Дебљина премаза | ≥20ум типична вредност (35ум±10ум) |
Елемент | Атомски проценат | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Просечно | |
Ц К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Та М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор обложене тантал карбидом цеви за раст кристала у Кини. Специјализовани смо за керамичке премазе дуги низ година. Наши производи имају високу чистоћу и отпорност на високе температуре. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је велики ТаЦ обложени прстен за произвођача и иноватора СиЦ епитаксијалног реактора у Кини. Специјализовани смо за ТаЦ премазе дуги низ година. Наши производи имају високу чистоћу, високу стабилност, одличну отпорност на корозију, високу чврстоћу везе. напредујемо да постанемо ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је полумесечни део обложен тантал карбидом великих размера за произвођача ЛПЕ и иноватора у Кини. Специјализовани смо за ТаЦ премазе дуги низ година. Наши производи могу да издрже температуре изнад 2000 степени Целзијуса, продужавају животни век потрошног материјала. Радујемо се да постанете ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор ТаЦ обложених водилица у Кини. Специјализовани смо за керамичке премазе дуги низ година. ТаЦ обложени водични прстен се првенствено користи за вођење и контролу протока ваздуха, повећавајући принос раста монокристала. Добродошли да нас питате за додатне информације.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач планетарних ротационих дискова обложених тантал карбидом и иноватор у Кини. Специјализовани смо за керамичке премазе дуги низ година. Наши производи имају високу чистоћу и отпорност на високе температуре. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кина.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор носача графитних плочица обложених ТаЦ-ом у Кини. Специјализовани смо за СиЦ и ТаЦ премазе дуги низ година. Наш ТаЦ-обложен графитни носач плочице има вишу температурну отпорност и отпорност на хабање. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упит