ВеТек семицондуцтор је водећи произвођач тантал карбидних премаза за индустрију полупроводника. Наша главна понуда производа укључује делове премаза од ЦВД тантал карбида, делове синтерованог ТаЦ премаза за раст кристала СиЦ или процес епитаксије полупроводника. Прошао ИСО9001, ВеТек Семицондуцтор има добру контролу квалитета. ВеТек Семицондуцтор је посвећен да постане иноватор у индустрији премаза тантал карбида кроз текуће истраживање и развој итеративних технологија.
Главни производи суПрстен за дефективну превлаку од тантал карбида, диверзиони прстен обложен ТаЦ, полумесечни делови обложени ТаЦ, планетарни ротациони диск обложен тантал карбидом (Аиктрон Г10), лончић обложен ТаЦ; ТаЦ Цоатед Рингс; Порозни графит са премазом ТаЦ; тантал карбид премаз Грапхите Сусцептор; ТаЦ Цоатед Гуиде Ринг; ТаЦ плоча обложена тантал карбидом; ТаЦ Цоатед Вафер Сусцептор; ТаЦ Цоатинг Ринг; ТаЦ Цоатинг Грапхите Цовер; ТаЦ Цоатед Цхункитд., чистоћа је испод 5ппм, може задовољити захтеве купаца.
ТаЦ премаз графит се ствара премазивањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД). Предност је приказана на слици испод:
Превлака од тантал карбида (ТаЦ) је привукла пажњу због своје високе тачке топљења до 3880°Ц, одличне механичке чврстоће, тврдоће и отпорности на термичке ударе, што га чини атрактивном алтернативом за сложене процесе епитаксије полупроводника са вишим температурним захтевима, као што је Аиктрон МОЦВД систем и ЛПЕ СиЦ процес епитаксије. Такође има широку примену у ПВТ методи процеса раста кристала СиЦ.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистоћа
●Отпорност на Х2, НХ3, СиХ4, Си
●Отпорност на топлоту
●Јака адхезија на графит
●Конформна покривеност премаза
● Величина до пречника 750 мм (једини произвођач у Кини достиже ову величину)
● Индуктивни грејни пријемник
● Отпорни грејни елемент
● Топлотни штит
Физичка својства ТАЦ премаза | |
Густина | 14,3 (г/цм³) |
Специфична емисивност | 0.3 |
Коефицијент топлотног ширења | 6.3 10-6/К |
Тврдоћа (ХК) | 2000 ХК |
Отпор | 1×10-5Охм*цм |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Промена величине графита | -10~-20ум |
Дебљина премаза | ≥20ум типична вредност (35ум ± 10ум) |
Елемент | Атомски проценат | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Просечно | |
Ц К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Тхе М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
ВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатинг Ротатион Плате се може похвалити изванредним ТаЦ премазом, Са својим изузетним ТаЦ премазом, ТаЦ Цоатинг Ротатион Плате се може похвалити изузетном отпорношћу на високе температуре и хемијском инертношћу, што је разликује од традиционалних решења. Посвећени смо обезбеђивању квалитетних производа на конкурентним тржиштима. цене и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатинг Плате је изузетан производ који нуди изузетне карактеристике и предности. Дизајнирана са прецизношћу и пројектована до савршенства, наша ТаЦ плоча за облагање је посебно скројена за различите примене у процесима раста монокристала од силицијум карбида (СиЦ). Прецизне димензије и робусна конструкција ТаЦ плоче за облагање олакшавају интеграцију у постојеће системе, обезбеђујући беспрекорну компатибилност и ефикасан рад. Његове поуздане перформансе и висококвалитетни премаз доприносе доследним и уједначеним резултатима у апликацијама за раст СиЦ кристала. Посвећени смо обезбеђивању квалитетних производа по конкурентним ценама и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитЦВД ТаЦ премаз који обезбеђује ВеТек Семицондуцтор је високо специјализована компонента дизајнирана посебно за захтевне примене. Са својим напредним карактеристикама и изузетним перформансама, наш поклопац ЦВД ТаЦ премаза нуди неколико кључних предности. Наш ЦВД ТаЦ поклопац премаза пружа неопходну заштиту и перформансе потребне за успех. Радујемо се истраживању потенцијалне сарадње са вама!
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор'ТаЦ Цоатинг Планетари Сусцептор је изузетан производ за опрему за епитаксију Аиктрон. Робусни ТаЦ премаз пружа одличну отпорност на високе температуре и хемијску инертност. Ова јединствена комбинација обезбеђује поуздане перформансе и дуг радни век, чак иу захтевним окружењима. ВеТек је посвећен пружању производа високог квалитета и служењу као дугорочни партнер на кинеском тржишту са конкурентним ценама.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатинг Педестал Суппорт Плате је производ високе прецизности дизајниран да испуни специфичне захтеве процеса епитаксије полупроводника. Са својим ТаЦ премазом, отпорношћу на високе температуре и хемијском инертношћу, наш производ вам омогућава да производите висококвалитетне ЕПИ слојеве високог квалитета. Посвећени смо пружању квалитетних производа по конкурентним ценама и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатинг Цхуцк има висококвалитетни ТаЦ премаз, познат по својој изузетној отпорности на високе температуре и хемијској инертности, посебно у процесима епитаксије силицијум карбидом (СиЦ) (ЕПИ). Са својим изузетним карактеристикама и супериорним перформансама, наша ТаЦ Цоатинг Цхуцк нуди неколико кључних предности. Посвећени смо пружању квалитетних производа по конкурентним ценама и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упит