ВЕЕЦО МОЦВД Грејач

ВеТексеми-јев ВЕЕЦО МОЦВД грејач је направљен од графитног материјала високе чистоће са садржајем нечистоћа строго контролисаним испод 5 ппм, и обложен силицијум карбидом ултра-високе чистоће (СиЦ) са чистоћом већом од 99,99995% крозпроцес хемијског таложења паре (ЦВД).. Ова комбинација материјала даје грејачу низ кључних особина које обезбеђују његове одличне перформансе уметално органско хемијско таложење паре (МОЦВД)процес.

Једна од изванредних карактеристика ВЕЕЦО МОЦВД грејача је његова изузетна хемијска чистоћа. Графитно језгро високе чистоће у великој мери смањује потенцијално уношење загађивача у високотемпературни процес, обезбеђујући ултра чист процес таложења филма. ТхеЦВД СиЦ премазпружа додатну заштиту за грејач, формирајући јаку баријеру за спречавање хемијских реакција које могу оштетити квалитет филма. Ова чистоћа без премца је неопходна за производњу поузданих полупроводничких уређаја високих перформанси.

Истовремено, грејач показује изузетно високу термичку стабилност и ефикасност. СиЦ има високу тачку топљења и одличну топлотну проводљивост, омогућавајући грејачу да ефикасно управља и спроводи топлоту. Ово обезбеђује равномерно загревање преко подлоге, што заузврат помаже у постизању равномерног таложења филма и смањењу дефеката изазваних топлотним градијентима. Таква топлотна ефикасност је посебно важна за прецизну производњу.

ВЕЕЦО МОЦВД грејач такође се истиче у електричним перформансама. Његово графитно језгро високе чистоће има одличну електричну проводљивост, омогућавајући грејачу да се носи са високим захтевима електричног оптерећења. Ове стабилне електричне перформансе омогућавају грејачу да одржи прецизну контролу температуре и стопу таложења у условима високог оптерећења, што је кључно за обезбеђивање доследних услова процеса и побољшање ефикасности производње полупроводника.

Дизајн површине грејача је пажљиво оптимизован да има високу емисивност подлоге, што значајно побољшава ефикасност радијационог преноса топлоте. Способност равномерног загревања је кључни фактор у обезбеђивању доследне дебљине и карактеристика таложења филма. Дизајн површине високе емисије такође побољшава укупну топлотну ефикасност грејача, чиме се смањује потрошња енергије и смањују оперативни трошкови.

Што се тиче издржљивости, ВеТексеми-јев ВЕЕЦО МОЦВД грејач показује одличну отпорност на корозију, отпорност на оксидацију и механичку чврстоћу. ЦВД СиЦ премаз пружа чврсту баријеру корозивним гасовима и хемикалијама уобичајеним у МОЦВД процесима, чиме се продужава век трајања опреме и смањују потребе одржавања и трошкови замене. Његова отпорност на оксидацију обезбеђује да грејач остане стабилан на високим температурама без деградације перформанси, обезбеђујући дугорочну стабилност.

Поред тога, висока механичка чврстоћа ВеТексеми МОЦВД грејача омогућава му да издржи физичка напрезања настала током термичког циклуса и руковања подлогом. Његова робусност смањује ризик од механичког квара и осигурава поуздан рад опреме у тешким процесним условима.

Као напредни произвођач и добављач ВЕЕЦО МОЦВД производа за грејање, ВеТексеми такође нуди низ висококвалитетних производа за грејање као што суТаЦ гријач премаза, силицијум карбид керамички премаз графитни грејач, грејач са керамичким премазом од силицијум карбидаитд. ВеТек Семицондуцтор је посвећен пружању напредних и прилагодљивих технолошких и производних решења за индустрију полупроводника. Искрено се надамо да ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.