Јединствени карбидни премази ВеТек Семицондуцтор-а пружају врхунску заштиту графитних делова у СиЦ Епитаки процесу за обраду захтевних полупроводничких и композитних полупроводничких материјала. Резултат је продужен век графитне компоненте, очување стехиометрије реакције, инхибиција миграције нечистоћа у епитаксију и апликације раста кристала, што резултира повећањем приноса и квалитета.
Наши премази од тантал карбида (ТаЦ) штите критичне компоненте пећи и реактора на високим температурама (до 2200°Ц) од врућег амонијака, водоника, силицијумских пара и растопљених метала. ВеТек Семицондуцтор има широк спектар могућности обраде и мерења графита како би задовољио ваше прилагођене захтеве, тако да можемо да понудимо премаз који се плаћа или комплетну услугу, са нашим тимом стручних инжењера спремних да дизајнира право решење за вас и вашу специфичну примену .
Сложени полупроводнички кристали
ВеТек Семицондуцтор може да обезбеди специјалне ТаЦ премазе за различите компоненте и носаче. Кроз ВеТек Семицондуцтор водећи процес премазивања у индустрији, ТаЦ премаз може постићи високу чистоћу, стабилност на високој температури и високу хемијску отпорност, чиме се побољшава квалитет производа кристалних ТаЦ/ГаН) и ЕПл слојева и продужава век трајања критичних компоненти реактора.
Топлотни изолатори
Компоненте за раст кристала СиЦ, ГаН и АлН укључујући лончиће, држаче семена, дефлекторе и филтере. Индустријски склопови укључујући отпорне грејне елементе, млазнице, заштитне прстенове и уређаје за лемљење, компоненте ГаН и СиЦ епитаксијалног ЦВД реактора укључујући носаче за плочице, носаче сателита, главе за туширање, капе и постоља, МОЦВД компоненте.
ЛЕД (Лигхт Емиттинг Диоде) Вафер носач
АЛД (полупроводнички) пријемник
ЕПИ рецептор (СиЦ Епитакси процес)
Сателитски сусцептор обложен ТаЦ-ом ТаЦ Цоатинг Сусцептор&Ринг ТаЦ премаз делови Халфмоон делови са ТаЦ премазом
СиЦ | ТаЦ | |
Главне карактеристике | Ултра висока чистоћа, одлична отпорност на плазму | Одлична стабилност високе температуре (усаглашеност процеса високе температуре) |
Чистоћа | >99,9999% | >99,9999% |
Густина (г/цм 3) | 3.21 | 15 |
Тврдоћа (кг/мм 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Отпорност [Ωцм] | 0,1-15,000 | <1 |
Топлотна проводљивост (В/м-К) | 200-360 | 22 |
Коефицијент топлотног ширења (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Апликација | Полупроводничка опрема Керамичка шаблона (фокусни прстен, глава за туширање, лажна плочица) | СиЦ Раст појединачних кристала, Епи, УВ ЛЕД делови опреме |
ВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и иноватор ТаЦ Цоатинг Хеатер у Кини. Овај производ има изузетно високу тачку топљења (око 3880°Ц). Висока тачка топљења ТаЦ Цоатинг Хеатер-а омогућава му да ради на екстремно високим температурама, посебно у расту епитаксијалних слојева галијум нитрида (ГаН) у процесу таложења металних органских хемијских пара (МОЦВД). ВеТек Семицондуцтор је посвећен пружању напредне технологије и решења производа за индустрију полупроводника. Радујемо се што ћемо постати ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитКао професионални произвођач и добављач ТаЦ Цоатед Цхуцк у Кини, ВеТек Семицондуцтор-ов ТаЦ Цоатинг Цхуцк је посебно дизајниран за полупроводничке пећи. Са својом отпорношћу на високе температуре, хемијском инертношћу и одличним перформансама, иновативна технологија Ветек Семицондуцтор-а пружа поуздано решење за индустрију производње полупроводника како би се осигурали стандарди производње високог квалитета. Верујемо да вам наши производи могу донети напредну технологију и висококвалитетна решења за производе.
ОпширнијеПошаљи упитКао професионални произвођач и добављач ТаЦ Цоатинг Тубе у Кини, ВеТек Семицондуцтор-ова ТаЦ цев за премазивање је кључна компонента за успешан раст монокристала силицијум карбида. Својом отпорношћу на високе температуре, хемијском инертношћу и одличним перформансама, обезбеђује производњу висококвалитетних кристала са доследним резултатима. Верујте нашим иновативним решењима да побољшате ваш процес раста СиЦ кристала помоћу ПВТ методе и постигнете одличне резултате. Добро дошли да нас питате.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач, иноватор и лидер ЦВД ТАЦ премаза у Кини. Дуги низ година смо се фокусирали на различите производе ЦВД ТАЦ премаза као што су ЦВД ТаЦ премаз, ЦВД ТаЦ прстен за облагање, носач ЦВД ТаЦ премаза, итд. ВеТек Семицондуцтор подржава прилагођене услуге производа и задовољавајуће цене производа, и радује се вашим даљим консултације.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач ТаЦ Цоатинг Плате и других ТаЦ Цоатинг резервних делова у Кини. ТаЦ премаз се тренутно углавном користи у процесима као што су раст монокристала силицијум карбида (ПВТ метода), епитаксијални диск (укључујући епитаксију силицијум карбидом, епитаксију ЛЕД), итд. У комбинацији са добром дуготрајном стабилношћу ТаЦ Цоатинг Плате, ВеТек Семицондуцтор ТаЦ Цоатинг Плате је постао стандард за ТаЦ Цоатинг резервне делове. Радујемо се што ћете постати наш дугогодишњи партнер.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач ГаН на СиЦ епи сусцептору, ЦВД СиЦ премаза и ЦВД ТАЦ ЦОАТИНГ графитног пријемника у Кини. Међу њима, ГаН на СиЦ епи сусцептору игра виталну улогу у обради полупроводника. Кроз своју одличну топлотну проводљивост, способност обраде високе температуре и хемијску стабилност, обезбеђује високу ефикасност и квалитет материјала ГаН епитаксијалног процеса раста. Искрено се радујемо вашим даљим консултацијама.
ОпширнијеПошаљи упит