Јединствени карбидни премази ВеТек Семицондуцтор-а пружају врхунску заштиту графитних делова у СиЦ Епитаки процесу за обраду захтевних полупроводничких и композитних полупроводничких материјала. Резултат је продужен век графитне компоненте, очување стехиометрије реакције, инхибиција миграције нечистоћа у епитаксију и апликације раста кристала, што резултира повећањем приноса и квалитета.
Наши премази од тантал карбида (ТаЦ) штите критичне компоненте пећи и реактора на високим температурама (до 2200°Ц) од врућег амонијака, водоника, силицијумских пара и растопљених метала. ВеТек Семицондуцтор има широк спектар могућности обраде и мерења графита како би задовољио ваше прилагођене захтеве, тако да можемо да понудимо премаз који се плаћа или комплетну услугу, са нашим тимом стручних инжењера спремних да дизајнира право решење за вас и вашу специфичну примену .
Сложени полупроводнички кристали
ВеТек Семицондуцтор може да обезбеди специјалне ТаЦ премазе за различите компоненте и носаче. Кроз ВеТек Семицондуцтор водећи процес премазивања у индустрији, ТаЦ премаз може постићи високу чистоћу, стабилност на високој температури и високу хемијску отпорност, чиме се побољшава квалитет производа кристалних ТаЦ/ГаН) и ЕПл слојева и продужава век трајања критичних компоненти реактора.
Топлотни изолатори
Компоненте за раст кристала СиЦ, ГаН и АлН укључујући лончиће, држаче семена, дефлекторе и филтере. Индустријски склопови укључујући отпорне грејне елементе, млазнице, заштитне прстенове и уређаје за лемљење, компоненте ГаН и СиЦ епитаксијалног ЦВД реактора укључујући носаче за плочице, носаче сателита, главе за туширање, капе и постоља, МОЦВД компоненте.
ЛЕД (Лигхт Емиттинг Диоде) Вафер носач
АЛД (полупроводнички) пријемник
ЕПИ рецептор (СиЦ Епитакси процес)
Сателитски сусцептор обложен ТаЦ-ом ТаЦ Цоатинг Сусцептор&Ринг ТаЦ премаз делови Халфмоон делови са ТаЦ премазом
СиЦ | ТаЦ | |
Главне карактеристике | Ултра висока чистоћа, одлична отпорност на плазму | Одлична стабилност високе температуре (усаглашеност процеса високе температуре) |
Чистоћа | >99,9999% | >99,9999% |
Густина (г/цм 3) | 3.21 | 15 |
Тврдоћа (кг/мм 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Отпорност [Ωцм] | 0,1-15,000 | <1 |
Топлотна проводљивост (В/м-К) | 200-360 | 22 |
Коефицијент топлотног ширења (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Апликација | Полупроводничка опрема Керамичка шаблона (фокусни прстен, глава за туширање, лажна плочица) | СиЦ Раст појединачних кристала, Епи, УВ ЛЕД делови опреме |
ЦВД ТаЦ премаз који обезбеђује ВеТек Семицондуцтор је високо специјализована компонента дизајнирана посебно за захтевне примене. Са својим напредним карактеристикама и изузетним перформансама, наш поклопац ЦВД ТаЦ премаза нуди неколико кључних предности. Наш ЦВД ТаЦ поклопац премаза пружа неопходну заштиту и перформансе потребне за успех. Радујемо се истраживању потенцијалне сарадње са вама!
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор'ТаЦ Цоатинг Планетари Сусцептор је изузетан производ за опрему за епитаксију Аиктрон. Робусни ТаЦ премаз пружа одличну отпорност на високе температуре и хемијску инертност. Ова јединствена комбинација обезбеђује поуздане перформансе и дуг радни век, чак иу захтевним окружењима. ВеТек је посвећен пружању производа високог квалитета и служењу као дугорочни партнер на кинеском тржишту са конкурентним ценама.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатинг Педестал Суппорт Плате је производ високе прецизности дизајниран да испуни специфичне захтеве процеса епитаксије полупроводника. Са својим ТаЦ премазом, отпорношћу на високе температуре и хемијском инертношћу, наш производ вам омогућава да производите висококвалитетне ЕПИ слојеве високог квалитета. Посвећени смо пружању квалитетних производа по конкурентним ценама и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатинг Цхуцк има висококвалитетни ТаЦ премаз, познат по својој изузетној отпорности на високе температуре и хемијској инертности, посебно у процесима епитаксије силицијум карбидом (СиЦ) (ЕПИ). Са својим изузетним карактеристикама и супериорним перформансама, наша ТаЦ Цоатинг Цхуцк нуди неколико кључних предности. Посвећени смо пружању квалитетних производа по конкурентним ценама и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитЛПЕ СиЦ Епи Халфмоон компаније ВеТек Семицондуцтор, револуционарни производ дизајниран да подигне процесе епитаксије СиЦ у ЛПЕ реактору. Ово врхунско решење има неколико кључних карактеристика које обезбеђују врхунске перформансе и ефикасност током ваших производних операција. Радујемо се успостављању дугорочне сарадње са вама.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је водећи произвођач и добављач у Кини за Халфмоон са тантал-карбидом ТаЦ, специјализовани смо за истраживање и развој и производњу, можемо добро да контролишемо квалитет и понудимо конкурентну цену. Добродошли сте да посетите нашу фабрику ради даљег разговора о дугорочној сарадњи.
ОпширнијеПошаљи упит