Јединствени карбидни премази ВеТек Семицондуцтор-а пружају врхунску заштиту графитних делова у СиЦ Епитаки процесу за обраду захтевних полупроводничких и композитних полупроводничких материјала. Резултат је продужен век графитне компоненте, очување стехиометрије реакције, инхибиција миграције нечистоћа у епитаксију и апликације раста кристала, што резултира повећањем приноса и квалитета.
Наши премази од тантал карбида (ТаЦ) штите критичне компоненте пећи и реактора на високим температурама (до 2200°Ц) од врућег амонијака, водоника, силицијумских пара и растопљених метала. ВеТек Семицондуцтор има широк спектар могућности обраде и мерења графита како би задовољио ваше прилагођене захтеве, тако да можемо да понудимо премаз који се плаћа или комплетну услугу, са нашим тимом стручних инжењера спремних да дизајнира право решење за вас и вашу специфичну примену .
Сложени полупроводнички кристали
ВеТек Семицондуцтор може да обезбеди специјалне ТаЦ премазе за различите компоненте и носаче. Кроз ВеТек Семицондуцтор водећи процес премазивања у индустрији, ТаЦ премаз може постићи високу чистоћу, стабилност на високој температури и високу хемијску отпорност, чиме се побољшава квалитет производа кристалних ТаЦ/ГаН) и ЕПл слојева и продужава век трајања критичних компоненти реактора.
Топлотни изолатори
Компоненте за раст кристала СиЦ, ГаН и АлН укључујући лончиће, држаче семена, дефлекторе и филтере. Индустријски склопови укључујући отпорне грејне елементе, млазнице, заштитне прстенове и уређаје за лемљење, компоненте ГаН и СиЦ епитаксијалног ЦВД реактора укључујући носаче за плочице, носаче сателита, главе за туширање, капе и постоља, МОЦВД компоненте.
ЛЕД (Лигхт Емиттинг Диоде) Вафер носач
АЛД (полупроводнички) пријемник
ЕПИ рецептор (СиЦ Епитакси процес)
Сателитски сусцептор обложен ТаЦ-ом ТаЦ Цоатинг Сусцептор&Ринг ТаЦ премаз делови Халфмоон делови са ТаЦ премазом
СиЦ | ТаЦ | |
Главне карактеристике | Ултра висока чистоћа, одлична отпорност на плазму | Одлична стабилност високе температуре (усаглашеност процеса високе температуре) |
Чистоћа | >99,9999% | >99,9999% |
Густина (г/цм 3) | 3.21 | 15 |
Тврдоћа (кг/мм 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Отпорност [Ωцм] | 0,1-15,000 | <1 |
Топлотна проводљивост (В/м-К) | 200-360 | 22 |
Коефицијент топлотног ширења (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Апликација | Полупроводничка опрема Керамичка шаблона (фокусни прстен, глава за туширање, лажна плочица) | СиЦ Раст појединачних кристала, Епи, УВ ЛЕД делови опреме |
ВеТек Семицондуцтор'с ЦВД ТаЦ Цоатинг носач је углавном дизајниран за епитаксијални процес производње полупроводника. Ултра-висока тачка топљења носача ЦВД ТаЦ премаза, одлична отпорност на корозију и изузетна термичка стабилност одређују неопходност овог производа у епитаксијалном процесу полупроводника. Искрено се надамо да ћемо изградити дугорочан пословни однос са вама.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор-ов ТаЦ Цоатинг Гуиде Ринг је креиран наношењем премаза од тантал карбида на графитне делове користећи веома напредну технику која се зове хемијско таложење паре (ЦВД). Ова метода је добро успостављена и нуди изузетна својства премаза. Коришћењем ТаЦ прстена за вођење премаза, животни век графитних компоненти може се значајно продужити, кретање графитних нечистоћа може бити потиснуто, а квалитет монокристала СиЦ и АИН може се поуздано одржати. Добродошли да нас распитате.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатед Грапхите Сусцептор користи метод хемијског таложења паре (ЦВД) за припрему превлаке од тантал карбида на површини графитних делова. Овај процес је најзрелији и има најбоља својства премаза. ТаЦ обложен графитни сусцептор може продужити век трајања графитних компоненти, инхибирати миграцију нечистоћа графита и осигурати квалитет епитаксије. ВеТек Семицондуцтор се радује вашем упиту.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор представља ТаЦ Цоатинг Сусцептор, Са својим изузетним ТаЦ премазом, овај пријемник нуди мноштво предности које га издвајају од конвенционалних решења. Беспрекорно се интегришући у постојеће системе, ТаЦ Цоатинг Сусцептор из ВеТек Семицондуцтор гарантује компатибилност и ефикасан рад. Његове поуздане перформансе и висококвалитетни ТаЦ премаз доследно дају изузетне резултате у процесима СиЦ епитаксије. Посвећени смо обезбеђивању квалитетних производа по конкурентним ценама и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатинг Ротатион Плате се може похвалити изванредним ТаЦ премазом, Са својим изузетним ТаЦ премазом, ТаЦ Цоатинг Ротатион Плате се може похвалити изузетном отпорношћу на високе температуре и хемијском инертношћу, што је разликује од традиционалних решења. Посвећени смо обезбеђивању квалитетних производа на конкурентним тржиштима. цене и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор'с ТаЦ Цоатинг Плате је изузетан производ који нуди изузетне карактеристике и предности. Дизајнирана са прецизношћу и пројектована до савршенства, наша ТаЦ плоча за облагање је посебно скројена за различите примене у процесима раста монокристала од силицијум карбида (СиЦ). Прецизне димензије и робусна конструкција ТаЦ плоче за облагање олакшавају интеграцију у постојеће системе, обезбеђујући беспрекорну компатибилност и ефикасан рад. Његове поуздане перформансе и висококвалитетни премаз доприносе доследним и уједначеним резултатима у апликацијама за раст СиЦ кристала. Посвећени смо обезбеђивању квалитетних производа по конкурентним ценама и радујемо се што ћемо бити ваш дугорочни партнер у Кини.
ОпширнијеПошаљи упит