Јединствени карбидни премази ВеТек Семицондуцтор-а пружају врхунску заштиту графитних делова у СиЦ Епитаки процесу за обраду захтевних полупроводничких и композитних полупроводничких материјала. Резултат је продужен век графитне компоненте, очување стехиометрије реакције, инхибиција миграције нечистоћа у епитаксију и апликације раста кристала, што резултира повећањем приноса и квалитета.
Наши премази од тантал карбида (ТаЦ) штите критичне компоненте пећи и реактора на високим температурама (до 2200°Ц) од врућег амонијака, водоника, силицијумских пара и растопљених метала. ВеТек Семицондуцтор има широк спектар могућности обраде и мерења графита како би задовољио ваше прилагођене захтеве, тако да можемо да понудимо премаз који се плаћа или комплетну услугу, са нашим тимом стручних инжењера спремних да дизајнира право решење за вас и вашу специфичну примену .
Сложени полупроводнички кристали
ВеТек Семицондуцтор може да обезбеди специјалне ТаЦ премазе за различите компоненте и носаче. Кроз ВеТек Семицондуцтор водећи процес премазивања у индустрији, ТаЦ премаз може постићи високу чистоћу, стабилност на високој температури и високу хемијску отпорност, чиме се побољшава квалитет производа кристалних ТаЦ/ГаН) и ЕПл слојева и продужава век трајања критичних компоненти реактора.
Топлотни изолатори
Компоненте за раст кристала СиЦ, ГаН и АлН укључујући лончиће, држаче семена, дефлекторе и филтере. Индустријски склопови укључујући отпорне грејне елементе, млазнице, заштитне прстенове и уређаје за лемљење, компоненте ГаН и СиЦ епитаксијалног ЦВД реактора укључујући носаче за плочице, носаче сателита, главе за туширање, капе и постоља, МОЦВД компоненте.
ЛЕД (Лигхт Емиттинг Диоде) Вафер носач
АЛД (полупроводнички) пријемник
ЕПИ рецептор (СиЦ Епитакси процес)
Сателитски сусцептор обложен ТаЦ-ом ТаЦ Цоатинг Сусцептор&Ринг ТаЦ премаз делови Халфмоон делови са ТаЦ премазом
СиЦ | ТаЦ | |
Главне карактеристике | Ултра висока чистоћа, одлична отпорност на плазму | Одлична стабилност високе температуре (усаглашеност процеса високе температуре) |
Чистоћа | >99,9999% | >99,9999% |
Густина (г/цм 3) | 3.21 | 15 |
Тврдоћа (кг/мм 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Отпорност [Ωцм] | 0,1-15,000 | <1 |
Топлотна проводљивост (В/м-К) | 200-360 | 22 |
Коефицијент топлотног ширења (10-6/℃) | 4.5-5 | 6.3 |
Апликација | Полупроводничка опрема Керамичка шаблона (фокусни прстен, глава за туширање, лажна плочица) | СиЦ Раст појединачних кристала, Епи, УВ ЛЕД делови опреме |
Као напредни произвођач и произвођач тантал карбидних прстена у Кини, ВеТек Семицондуцтор Тантал Царбиде Ринг има изузетно високу тврдоћу, отпорност на хабање, отпорност на високе температуре и хемијску стабилност, и широко се користи у области производње полупроводника. Посебно у ЦВД, ПВД, процесу јонске имплантације, процесу јеткања и обради и транспорту плочица, то је незаменљив производ за обраду и производњу полупроводника. Радујемо се вашим даљим консултацијама.
ОпширнијеПошаљи упитКао професионални произвођач и фабрика производа за подршку премазима од тантал карбида у Кини, ВеТек Семицондуцтор Танталум Царбиде Цоатинг Суппорт се обично користи за површинско премазивање структурних компоненти или потпорних компоненти у полупроводничкој опреми, посебно за површинску заштиту кључних компоненти опреме у процесима производње полупроводника као што су ЦВД и ПВД. Добродошли на ваше даље консултације.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и лидер производа са водичем од тантал карбида у Кини. Наш водећи прстен од тантал карбида (ТаЦ) је компонента прстена високих перформанси направљена од тантал карбида, који се обично користи у опреми за обраду полупроводника, посебно у високотемпературним и високо корозивним окружењима као што су ЦВД, ПВД, јеткање и дифузија. ВеТек Семицондуцтор је посвећен пружању напредних технолошких и производних решења за индустрију полупроводника, и поздравља ваше даље упите.
ОпширнијеПошаљи упитКао професионални произвођач, иноватор и лидер производа ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор у Кини. ВеТек Семицондуцтор ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор се обично уграђује у опрему за хемијско таложење паре (ЦВД) и епитаксију молекуларним снопом (МБЕ) за подршку и ротацију плочица како би се обезбедило равномерно таложење материјала и ефикасна реакција. То је кључна компонента у обради полупроводника. Добродошли на ваше даље консултације.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и лидер ЦВД ТаЦ Цоатинг Цруцибле производа у Кини. ЦВД ТаЦ Цоатинг Цруцибле је заснован на премазу од танталног угљеника (ТаЦ). Превлака од тантала је равномерно прекривена на површини лончића кроз процес хемијског таложења паре (ЦВД) како би се побољшала отпорност на топлоту и отпорност на корозију. То је материјални алат који се посебно користи у екстремним окружењима високих температура. Добродошли на ваше даље консултације.
ОпширнијеПошаљи упитКао професионални произвођач и фабрика производа ЦВД ТаЦ Цоатинг Вафер Царриер у Кини, ВеТек Семицондуцтор ЦВД ТаЦ Цоатинг Вафер Царриер је алат за ношење плочице специјално дизајниран за високе температуре и корозивна окружења у производњи полупроводника. и ЦВД ТаЦ Цоатинг Вафер Царриер има високу механичку чврстоћу, одличну отпорност на корозију и термичку стабилност, пружајући неопходну гаранцију за производњу висококвалитетних полупроводничких уређаја. Ваша даља питања су добродошла.
ОпширнијеПошаљи упит