ВеТек семицондуцтор је водећи произвођач тантал карбидних премаза за индустрију полупроводника. Наша главна понуда производа укључује делове премаза од ЦВД тантал карбида, делове синтерованог ТаЦ премаза за раст кристала СиЦ или процес епитаксије полупроводника. Прошао ИСО9001, ВеТек Семицондуцтор има добру контролу квалитета. ВеТек Семицондуцтор је посвећен да постане иноватор у индустрији премаза тантал карбида кроз текуће истраживање и развој итеративних технологија.
Главни производи суПрстен за дефективну превлаку од тантал карбида, диверзиони прстен обложен ТаЦ, полумесечни делови обложени ТаЦ, планетарни ротациони диск обложен тантал карбидом (Аиктрон Г10), лончић обложен ТаЦ; ТаЦ Цоатед Рингс; Порозни графит са премазом ТаЦ; тантал карбид премаз Грапхите Сусцептор; ТаЦ Цоатед Гуиде Ринг; ТаЦ плоча обложена тантал карбидом; ТаЦ Цоатед Вафер Сусцептор; ТаЦ Цоатинг Ринг; ТаЦ Цоатинг Грапхите Цовер; ТаЦ Цоатед Цхункитд., чистоћа је испод 5ппм, може задовољити захтеве купаца.
ТаЦ премаз графит се ствара премазивањем површине графитне подлоге високе чистоће финим слојем тантал карбида патентираним процесом хемијског таложења паре (ЦВД). Предност је приказана на слици испод:
Превлака од тантал карбида (ТаЦ) је привукла пажњу због своје високе тачке топљења до 3880°Ц, одличне механичке чврстоће, тврдоће и отпорности на термичке ударе, што га чини атрактивном алтернативом за сложене процесе епитаксије полупроводника са вишим температурним захтевима, као што је Аиктрон МОЦВД систем и ЛПЕ СиЦ процес епитаксије. Такође има широку примену у ПВТ методи процеса раста кристала СиЦ.
●Температурна стабилност
●Ултра висока чистоћа
●Отпорност на Х2, НХ3, СиХ4, Си
●Отпорност на топлоту
●Јака адхезија на графит
●Конформна покривеност премаза
● Величина до пречника 750 мм (једини произвођач у Кини достиже ову величину)
● Индуктивни грејни пријемник
● Отпорни грејни елемент
● Топлотни штит
Физичка својства ТАЦ премаза | |
Густина | 14,3 (г/цм³) |
Специфична емисивност | 0.3 |
Коефицијент топлотног ширења | 6.3 10-6/К |
Тврдоћа (ХК) | 2000 ХК |
Отпор | 1×10-5Охм*цм |
Термичка стабилност | <2500℃ |
Промена величине графита | -10~-20ум |
Дебљина премаза | ≥20ум типична вредност (35ум ± 10ум) |
Елемент | Атомски проценат | |||
Пт. 1 | Пт. 2 | Пт. 3 | Просечно | |
Ц К | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Тхе М | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Као професионални иноватор и лидер производа за прстенове обложене тантал карбидом у Кини, ВеТек полупроводнички прстен обложен тантал карбидом игра незаменљиву улогу у расту кристала СиЦ са својом одличном отпорношћу на високе температуре, отпорношћу на хабање и одличном топлотном проводљивошћу. Добродошли на ваше даље консултације.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и лидер производа од порозног тантал карбида у Кини. Порозни тантал карбид се обично производи методом хемијског таложења из паре (ЦВД), обезбеђујући прецизну контролу његове величине и дистрибуције пора, и представља материјално средство намењено екстремним условима високе температуре. Добродошли на ваше даље консултације.
ОпширнијеПошаљи упитКао напредни произвођач и произвођач тантал карбидних прстена у Кини, ВеТек Семицондуцтор Тантал Царбиде Ринг има изузетно високу тврдоћу, отпорност на хабање, отпорност на високе температуре и хемијску стабилност, и широко се користи у области производње полупроводника. Посебно у ЦВД, ПВД, процесу јонске имплантације, процесу јеткања и обради и транспорту плочица, то је незаменљив производ за обраду и производњу полупроводника. Радујемо се вашим даљим консултацијама.
ОпширнијеПошаљи упитКао професионални произвођач и фабрика производа за подршку премазима од тантал карбида у Кини, ВеТек Семицондуцтор Танталум Царбиде Цоатинг Суппорт се обично користи за површинско премазивање структурних компоненти или потпорних компоненти у полупроводничкој опреми, посебно за површинску заштиту кључних компоненти опреме у процесима производње полупроводника као што су ЦВД и ПВД. Добродошли на ваше даље консултације.
ОпширнијеПошаљи упитВеТек Семицондуцтор је професионални произвођач и лидер производа са водичем од тантал карбида у Кини. Наш водећи прстен од тантал карбида (ТаЦ) је компонента прстена високих перформанси направљена од тантал карбида, који се обично користи у опреми за обраду полупроводника, посебно у високотемпературним и високо корозивним окружењима као што су ЦВД, ПВД, јеткање и дифузија. ВеТек Семицондуцтор је посвећен пружању напредних технолошких и производних решења за индустрију полупроводника, и поздравља ваше даље упите.
ОпширнијеПошаљи упитКао професионални произвођач, иноватор и лидер производа ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор у Кини. ВеТек Семицондуцтор ТаЦ Цоатинг Ротатион Сусцептор се обично уграђује у опрему за хемијско таложење паре (ЦВД) и епитаксију молекуларним снопом (МБЕ) за подршку и ротацију плочица како би се обезбедило равномерно таложење материјала и ефикасна реакција. То је кључна компонента у обради полупроводника. Добродошли на ваше даље консултације.
ОпширнијеПошаљи упит